Sistemul CVD constă din sistemul de alimentare cu gaz + cuptor cu tuburi + sistem de pompare a gazelor, temperatura maximă poate ajunge la 1200 de grade, 1400 de grade, 1600 de grade, 1700 de grade, intervalul de încălzire poate fi zona de temperatură unică, zona de temperatură dublă, zona de temperatură triplă etc., vid extrem poate ajunge la 10-3Pa, sistemul de alimentare cu gaz este reglarea debitului poate fi proton de debit sau plutitor de debit, numărul de drumuri de amestecare poate fi 2, 3, 4, 5 drumuri amestecate.
Sistemul CVD cu zonă unică de temperatură KTL-CVD-1400 este format din sistemul de alimentare cu gaz cu 3 căi + cuptor cu tuburi KTL1400 + sistem de vid.
(1), grosimea terminalului fierbinte al barii de siliciu și molibden D1 este de 7 mm, producătorii generali folosesc 6 mm, grosimea terminalului de încălzire, nu este ușor de îndoit, sarcina de suprafață a barii este scăzută și o viață lungă.
(2), folosind tehnologia de îndoiere la caldură, rezistență uniformă, viață lungă
(3), Lungimea capătului rece Lu este de 210 mm, cuptorul 400X300X300 este de 260, producătorii obișnuiți folosesc 180 mm, temperatura de sus a cuptorului lung la capătul rece este scăzută.
(4), suprafața bare de siliciu și molibden oxid film necristal densă, poate proteja mai bine bara de siliciu și molibden.
Deschiderea golă se deconectează automat atunci când circuitul este supracurent sau scurgere
Cuptor cu tuburi atmosfericeDar...Equipat cu interfață de comunicare și software, poate fi controlat direct prin intermediul calculatorului diferitii parametri ai cuptorului și poate fi observat de la calculator valorile de temperatură PV și SV și funcționarea instrumentului pe cuptor, calculatorul curbei reale de încălzire a cuptorului va fi desenat în timp real și poate salva datele de temperatură din fiecare moment.
(1), cuptorul de curare cu fibră policristalină de oxid de aluminiu de înaltă puritate de filtrare în vid.
(2) Utilizarea tehnologiei japoneze.
(3), capacitatea termică scăzută a materialului cuptorului, conductivitatea termică scăzută, astfel încât scăderea căldurii este mică, izolarea bună și reflectivitatea ridicată. echilibru termic.
(4), sârmă de oxid de aluminiu de cuptor subțire și lungă, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la creșterea căldurii și capacitatea de răcire puternică
(5), suprafața cuptorului este curată și nu este ușor de îndepărtat.
(Toate produsele electrice importate sunt certificate UL)