Modelul

K1000A

K1000B

K1000C

Specificații de flux (flux de conversie N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Bin 2: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, Air etc.)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

Tip de supapă

N/O: obișnuit deschis, N/C: obișnuit închis

N/C: Normal închis

Domeniul de control al fluxului

2%～100%F.S.

Precizie

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(intervalul de precizie 15-35 °C)

± 1% FS (intervalul de precizie garantat 15 ~ 35 ℃)

± 2% F.S. (intervalul de precizie garantat 15 ~ 35 ℃)

Temperatura mediului de lucru

5～50℃

5～45℃

Timp de răspuns

≦1sec

≦3sec

Liniar

±0.5%F.S.

Precizie repetată

±0.2%F.S.

Intervalul de presiune de lucru

N/O100 ~ 300KPa (3SLM ~ 10SLM)

50 ~ 300KPa

N/O150 ~ 300KPa (11SLM ~ 30SLM)

200～300KPa

(Ar: 100-300KPa)

N/C100 ~ 300KPa (3SLM ~ 30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100-300KPa

150 până la 300KPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Factor de temperatură

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Presiunea maximă de lucru

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Rezistență la presiune

1MPa

Rata de scurgere

etanșare metalică: 1 x 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

etanșare inel de cauciuc: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

etanșare inel de cauciuc: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Materiale de etanșare

etanșare metalică; cauciuc fluorat; Neoprene

cauciuc fluorat; Neoprene

Forma de comunicare

Analog: 0 ~ 5V DC Digital: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Analog: 0 ~ 5V DC Digital: RS485, DeviceNet,

Alimentare electrică

Analog / digital: + 15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Forma standard de conectare

VCR 1/4 sunset, 1/4 sunset, 1.5'' W-Seal, 1.125'' W-Seal, 1.125'' C-Seal

VCR 3/8 conector solar, dual card set 3/8 conector solar

VCR 1/2 conector solar, dual card set 1/2 conector solar

Greutate

1.0kg

3.0kg

3.7kg